【展商推荐】

苏州矽视科技有限公司

SiScan Technology Co. Ltd.

【公司简介】

苏州矽视科技有限公司2021年6月16日在苏州成立，公司位于相城区经济开发区富阳工业坊。本公司专注于高端半导体晶圆量检测设备的研发、生产和服务，致力于自主研发具有完全自主知识产权、满足行业需求的国产电子束成像量检测设备。

团队核心成员于集成电路行业从业经验15年以上，掌握核心技术及各种诀窍，技术水平达到国内领 先水平，能够引领上下游核心零部件产业链的发展。

【参展产品介绍】

【CD-SEM】

CD-SEM主要是通过对于关键尺寸的采样测量，实现对IC制造过程中，光刻工艺后所形成图形尺寸进行监控，以确保良率。该设备对标业内主流量产产品，并研发特有的荷电控制方法和位置偏差的动态补偿方法，在分辨率，视场、采样频率、定位精度和吞吐率等均可满足市场要求。

【EBI】

EBI具有大跨度束流成像的电子光学设计，可满足先进工艺节点偏重小束流高分辨率物理缺陷、第三代半导体制造及成熟工艺节点偏重大束流电性缺陷的检测需求，拥有先进多样的充放电控制手段，对特殊工艺及器件的表面进行高频度的荷电调理，满足电性缺陷的高灵敏度检测需求。此设备为国内首创，可解决电子束缺陷检测设备及核心零部件的“卡脖子”问题。