【展商推荐】

珠海诚锋电子科技有限公司

Zhuhai Chengfeng Electronic Technology Co., Ltd.

www.klat.com.cn

【公司简介】

珠海诚锋电子科技有限公司2015年成立，是一家集自主研发、生产、销售为一体的半导体视觉外观检测设备高新技术企业，2022年被评为广东省专精特新企业。

诚锋科技专注于晶圆过程检及先进封装领域视觉瑕疵检测设备的研发与应用，核心创始成员源于全球顶 级半导体公司的光学和视觉算法研发团队，深耕光学设计和视觉算法领域超过20年，产品拥有完全自主知识产权。基于在该领域有深厚的光学光路设计及独特的场景化检测算法积累，我们专门针对晶圆制造特定细分领域设计了多种光路方案，挑战全球头部技术。目前，已经落地在硅光晶圆、光通信透镜、化合物半导体、数字类晶圆等多种领域。

诚锋科技，持续创新，用创新驱动价值增长，以品质提升品牌价值，致力于解决国内半导体视觉检测“卡脖子”的难题，实现国产化替代，成为高端视觉检测设备领跑者!

【本届参展亮点】

1、纳米级有图形晶圆检测设备，检测精度：170nm；

2、先进封装六面检技术。

【参展产品介绍】

【CFW920 Wafer过程检测设备(光学)】

适用领域：

1）FAB晶圆制造过程工艺控制

2）先进芯片封装集成的缺陷检测

检测精度：170纳米

技术参数：

相机：诚锋定制高速高分辨率彩色相机

光源：宽光谱/激光光源

像素分辨率：170纳米/像素

最 高Defect检测精度：170纳米

检测能力：1 Pixel(AI)

镜头：5X/10X/20X

可检测瑕疵类型：各个工艺节点的图形图案不良

漏检率：低漏检率，低过杀率，可高效创建新Recipe

【CFW980 Wafer AOI设备】

适用领域：

1）FAB厂品质终检

2）Wafer裂片前后的检测

3）Wafer扩膜后的检测

检测精度：1~3微米

技术参数：

相机：诚锋定制高速高分辨率彩色相机

光源：宽光谱/激光光源

CCD分辨率：Pixel size:2X(1.7微米)，5X(0.68微米)瑕疵

检测精度： >1微米

可检测瑕疵类型：裂纹、划伤、针痕、凹坑、脏污、异物、崩缺等

背面检测：支持晶圆背面检测(可选)

读取方式：支持RFID读取(可选)

接入端口：支持SECS、GEM协议

支持尺寸：支持4、6、8、12寸晶圆

Loadport：支持2个Loadport

设备输出：MAP图、喷黑打标(可选)

切割道：支持切割道检测

复判模式：支持自动复判、手动复判双模式

OCR：支持OCR(可选)